Магниторазрядный насос – прибор для создания высокой степени разрежения, действие которого основывается на применении законов физики и химии, связанных с электрическим током.
Магниторазрядные насосы вакуумные
Несмотря на сложную схему работы, магниторазрядная аппаратура широко используется в массовом производстве и имеет компактные габариты.
Содержание:
Магниторазрядные вакуумные насосы - принцип действия
В основу принципа работы прибора лег химический процесс поглощения сырья каким-либо объектом (чаще всего жидкость или твердый материал). Если говорить о газах, то в магниторазрядной технике они поглощаются внешнем слоем твердого вещества. При этом притягивающий пары объект называют адсорбентом, а само действие – адсорбция или хемосорбция. Во втором случае всасывание газов сопровождается химической реакцией.
Магниторазрядные вакуумные насосы - принцип действия
Чаще всего удерживающим элементом в составе вакуумного насоса указанного типа является титан – устойчивое к агрессивным средам вещество, имеющее защитную оксидную поверхность. Он отлично притягивает, поглощает и удерживает внутри себя газы, за исключением благородных – аргона, неона, гелия. Фактически, титан по своим свойствам в вакуумных установках смело может именоваться насосом, так как его плотности и энергии хватает на то, чтобы не отпускать молекулы газа обратно в рабочую камеру. Титановые диски имеют форму круга или прямоугольника.
Электричество в схеме действия магнитного насоса выполняет дополнительную функцию – ускоряет процесс поглощения частиц газа абсорбентом (геттером). Обрабатываемая среда становится проводником тока, так как в ней благодаря изменению количества электронов образуются ионы. Источники электронов – электроды, они мигрируют в обрабатываемой среде с помощью магнитного притяжения. Этот процесс является причиной того, почему вакуумную аппаратуру такого рода также называют геттерно-ионной.
Функции ионных насосов
Магниторазрядные агрегаты отличаются между собой по максимально возможной скорости обработки паровой смеси и по общей производительности. Стоит заметить, что различные виды газов откачиваются в насосах с неравными скоростями.
Функции ионных насосов
Отличительная особенность геттерно-ионного оборудования – возможность обрабатывать инертные газы, к которым относятся неон, аргон, ксенон, криптон. Осуществляется это катодами, которые химически инертны по отношению к бомбардировке ионами благородных газов. Поглощение инертных соединений происходит выборочными секторами катодов, глубокого же проникновения ионов не происходит. Однако, это не означает, что откачивать указанным типом насосной техники можно любой газ – прежде, чем приобретать товар, необходимо ознакомиться с перечнем пригодных для откачки паровых соединений, указанных в инструкции.
Среди особенностей функционирования магниторазрядных насосов можно выделить повышенную восприимчивость к загрязнениям (особенно к тем, в состав которых входят соединения CH), образование вокруг корпуса полей рассеяния и испускание прибором электронов. Питание агрегата происходит исключительно из высоковольтных источников. Управлять насосным оборудованием во время работы позволяют специальные контроллеры, которые могут быть соединены как с одним устройством, так и с несколькими.
Указанная аппаратура широко используется при выпуске диодов, триодов, светильников, источников излучения заряженных частиц, движущихся с релятивистскими скоростями, для проведения научных исследований, и изготовления быстроцикличных ускорителей для промышленных нужд.