• Москва
  • Услуги
  • О компании
  • Контакты
  • Оплата
  • Доставка
  • Гарантия
  • Статьи
Укажите свой город
Москва
Санкт-Петербург
Екатеринбург
Нижний Новгород
Новосибирск
Челябинск
Ростов-на-Дону
Самара
Иркутск
Кемерово
Саратов
Волгоград
Омск
Воронеж
Белгород
Тула
Оренбург
Томск
Ярославль
Смоленск
Владимир
Тюмень
Вологда
Ульяновск
Киров
Тверь
Пенза
Калининград
Брянск
Калуга
Рязань
Архангельск
Липецк
Иваново
Курск
Мурманск
Астрахань
Тамбов
Благовещенск
Курган
Орёл
Южно-Сахалинск
Псков
Великий Новгород
Кострома
Магадан
Биробиджан
+​7 (499) 685-39-35 (с 9:00 до 18:00) Заказать звонок
Вход Регистрация
vacuumequipment.ru vacuumequipment.ru
  • Меню
  • Каталог
    • Компрессоры промышленные
    • ... Показать все
    • Воздуходувки промышленные
    • ... Показать все
    • Вакуумные насосы
    • ... Показать все
    • Вакуумные прессы
    • Испытательное оборудование
    • ... Показать все
    • Промышленные сушильные шкафы
    • ... Показать все
    • Криогенное оборудование
    • Вакуумметры
    • ... Показать все
    • Вакуумная арматура
    • ... Показать все
    • Вакуумные системы
    • ... Показать все
    • Вакуумные мешки
    • ... Показать все
    • Вакуумные шланги
    • ... Показать все
    • Вакуумные печи
    • ... Показать все
    • Течеискатели
    • Масс-спектрометры
    • Вакуумные камеры
    • ... Показать все
    • Вакуумные фильтры
    • ... Показать все
    • Вакуумное масло
    • ... Показать все
    • Изостатические прессы
    • Запчасти и комплектующие для вакуумного оборудования
    • Лиофильные сушки
    • Предохранительные клапаны для воздуходувок
    • Ультразвуковые ванны
  • Статьи
  • Услуги
  • О компании
    О компании
  • Контакты
  • Москва
Назад
Москва
Санкт-Петербург
Екатеринбург
Нижний Новгород
Новосибирск
Челябинск
Ростов-на-Дону
Самара
Иркутск
Кемерово
Саратов
Волгоград
Омск
Воронеж
Белгород
Тула
Оренбург
Томск
Ярославль
Смоленск
Владимир
Тюмень
Вологда
Ульяновск
Киров
Тверь
Пенза
Калининград
Брянск
Калуга
Рязань
Архангельск
Липецк
Иваново
Курск
Мурманск
Астрахань
Тамбов
Благовещенск
Курган
Орёл
Южно-Сахалинск
Псков
Великий Новгород
Кострома
Магадан
Биробиджан
+​7 (499) 685-39-35 (с 9:00 до 18:00)
e-mail@vacuequipment.ru
Заказать звонок Обратная связь
0
0
0
Корзина
пуста
К сожалению, ваша корзина пуста.
Исправить это недоразумение очень просто:
выберите в каталоге интересующий товар и нажмите кнопку «В корзину».
Общая сумма:0 руб.
Перейти в корзину
  • Компрессоры промышленные
    Винтовые компрессоры Вихревые компрессоры Роторно-пластинчатые компрессоры Когтевые компрессоры Водокольцевые компрессоры Компрессоры воздушные Компрессоры Компрессорные станции Компрессоры для аэрации ... Показать все
  • Воздуходувки промышленные
    Винтовые воздуходувки Вихревые воздуходувки Роторные воздуходувки Турбовоздуходувки Газодувки Центробежные высоконапорные вентиляторы Воздуходувки для аэрации Воздуходувки одноступенчатые Воздуходувки двухступенчатые Воздуходувки трехступенчатые Воздуходувки двухроторные Воздуходувки Роторные блоки воздуходувок Воздуходувки Рутса ... Показать все
  • Вакуумные насосы
    Мембранные насосы (диафрагменные) Пластинчато-роторные насосы Вихревые насосы Плунжерные насосы Винтовые насосы Турбомолекулярные насосы Кулачковые насосы Диафрагменные насосы Спиральные насосы Криогенные насосы (крионасосы) Насосы Рутса Форвакуумные насосы Водокольцевые насосы Эжекторные насосы Магниторазрядные насосы (ионно-геттерные) Бустерные насосы Низковакуумные насосы Высоковакуумные насосы Насосы фреоновые Золотниковые насосы Поршневые вакуумные насосы Ионно-сорбционные насосы ... Показать все
  • Вакуумные прессы
    Мембранно-вакуумные прессы
  • Испытательное оборудование
    Вакуумные манипуляторы Вибростенды Испытательные камеры Климатические камеры Термобарокамеры ... Показать все
  • Промышленные сушильные шкафы
    Сушильные шкафы лабораторные ... Показать все
  • Криогенное оборудование
    Криогенная арматура
  • Вакуумметры
    Вакуумметры Пирани Вакуумметры стрелочные Вакуумметры цифровые Вакуумные датчики Контроллеры вакуумных датчиков Термопарные вакуумметры ... Показать все
  • Вакуумная арматура
    Арматура CF Арматура ISO Арматура KF Вводы вращения Запорная арматура Затворы Клапаны Сильфоны Смотровые окна Уплотнения Фитинги Фланцы ... Показать все
  • Вакуумные системы
    Вакуумные станции Станции эвакуации фреона Централизованные вакуумные системы ... Показать все
  • Вакуумные мешки
    Мешки для шпонирования Мешки для прессования Мешки для пресса Нейлоновые мешки Поливинилхлоридовые мешки (ПВХ) Полиуретановые мешки Пресс-мешки Силиконовые мешки ... Показать все
  • Вакуумные шланги
    Шланги армированные Шланги для вакуумного насоса Шланги МПТ-Пластик Шланги ПВХ Шланги резиновые Шланги силиконовые ... Показать все
  • Вакуумные печи
    Печи для прессования Водородные печи Дуговые печи Печи азотирования Печи вакуумной пайки Печи для вакуумного отжига Печи для закалки Печи для обжига Плавильные печи ... Показать все
  • Течеискатели
    Гелиевые течеискатели
  • Масс-спектрометры
  • Вакуумные камеры
    Камеры для дегазации Камеры для дегазации силикона Камеры для дегазации эпоксидной смолы Камеры для стабилизации древесины Камеры для сушки Камеры избыточного давления Манокамеры ... Показать все
  • Вакуумные фильтры
    Фильтры для вакуумного насоса ... Показать все
  • Вакуумное масло
    ... Показать все
  • Изостатические прессы
  • Запчасти и комплектующие для вакуумного оборудования
  • Лиофильные сушки
  • Предохранительные клапаны для воздуходувок
  • Ультразвуковые ванны
  • Еще
Главная
-
Статьи
-Турбомолекулярный насос: принцип работы-

Турбомолекулярный насос: принцип работы

Турбомолекулярный насос (ТМН) — хороший способ обеспечить быструю транспортировку всевозможных сред при высоком вакууме, исключив утечки и загрязнения. Производительные агрегаты обычно используются в сочетании с форвакуумным оборудованием, обеспечивающим предварительное разряжение или постоянную эвакуацию газов с выхлопного канала. Представленные в каталоге модели ТМН, позволяют создавать низкий вакуум в пределах 10–8 Па (10-10 Торр). У нас можно заказать сертифицированные насосы Agilent, Busch, Edwards, KYKY, Leybold, Osaka Vacuum, Pfeiffer Vacuum и других популярных брендов с доставкой.

Турбомолекулярный вакуумный насос вид сбоку

Содержание:

  1. Общие сведения о ТМН: спецификация
  2. Устройство турбомолекулярного насоса
  3. Принцип действия ТМН
  4. Типы турбомолекулярных насосов
  5. Виды насосов турбомолекулярного типа
  6. Основные характеристики ТМН
  7. Преимущества и недостатки турбомолекулярных насосов
  8. Сферы применения ТМН
  9. Популярные бренды турбомолекулярных насосов
  10. Ремонт турбомолекулярных насосов

Общие сведения о ТМН: спецификация

Турбомолекулярный форвакуумный насос в разрезе вид сбоку

Турбомолекулярные насосы (ТМН) — разновидность компрессоров, разработанных для создания высокого вакуума. Их особенность в строго определенном диапазоне рабочих параметров — ограниченном диапазоне разряжения. Чтобы это обеспечить, необходимо использовать дополнительный насос, который предварительно будет формировать исходное (заданное) давление в системе.

Работа ТМН схожа с действием кинетических вакуумирующих устройств — насосов диффузионного типа, обеспечивающих быстрое преобразование газообразных сред в разряженное (вакуумное) состояние. Это достигается последовательным сжатием в процессе постоянного движения в определенном направлении. При смещении газ проходит четыре фазы: газообразную, вязкую, молекулярную и промежуточную.

Устройство турбомолекулярного насоса

Схема устройства турбомолекулярного вакуумного насоса

Помимо высокопрочного корпуса, конструкция турбомолекулярных насосов состоит из трех основных элементов:

  • Роторные диски. Рабочие колеса с комплектом особых лопаток — основная часть конструкции насосов. Они изготавливаются из высокопрочных сплавов алюминия, которые отличаются низким удельным весом при повышенной стойкости к высоким температурам и их колебаниям. Лопасти тщательно балансируются и монтируются под углом 40–1500 относительно оси вращения
  • Статорные диски. Неподвижные пластины, жестко зафиксированные на корпусе, располагаются между лопастями роторов с минимальными зазорами. Как и на боковинах лопаток рабочих колес, на них имеются скошенные пазы-каналы радиального типа. Они расположены зеркально по отношению к подвижным каналам ротора.
  • Электропровод (контроллер). В зависимости от модели ТМН комплектуются электромоторами постоянного или переменного тока, либо электродвигателями гистерезисного типа. В первом случае достигается минимальных расход ресурсов при более высокой цене насосов. Второй и третий варианты более доступны, однако требуют больше ресурсов в процессе эксплуатации.

Принцип действия ТМН

Схема принципа действия турбомолекулярного вакуумного насоса

Действие турбомолекулярного насоса основано на придании молекулам откачиваемой среды мощных динамических импульсов. Это достигается тщательно спроектированной системой расположения пазов-каналов подвижных лопастей и стационарных пластин. В процессе высокоскоростного вращения ротора молекулы газа многократно сталкиваются как с движущимися лопастями, так и с неподвижными лопатками. Такое сочетание заставляет их последовательно смещаться к оси конструкции насоса (ротора) в направлении выхлопного канала.

При работе ТМН газообразная среда проходит через три стадии обработки (воздействия):

  1. Всасывание: нагнетание газа внутрь статора через всасывающее окно.
  2. Сжатие: уменьшение объема среды путем многоступенчатого турбомолекулярного воздействия.
  3. Выхлоп: вывод разряженной газообразной среды с помощью подкачивающего насоса.

Для откачки среды из выходного отсека установлен дополнительный насос форвакуумного типа. Он постоянно работает в крейсерском режиме. Такая комбинация позволяет поддерживать довольно низкий вакуум, обеспечивая хорошую производительность при минимальном потреблении энергии.

Типы турбомолекулярных насосов

Типовой турбомолекулярный вакуумный насос вид сбоку

В зависимости от варианта исполнения подвеса рабочих колес можно приобрести турбомолекулярный насос одного из таких типов:

Классический турбомолекулярный насос

Классический турбомолекулярный вакуумный насос вид сбоку

Рабочие колеса монтируются с помощью двух механических подшипников качения, расположенных в верхней и нижней части вала. Наиболее долговечные модели, укомплектованные керамическими подшипниками необслуживаемого типа, помещенные в консистентную смазку. Недостаток насосов этой категории в сложности ремонта при выходе из строя подшипников. После замены поврежденных деталей необходимо выполнить балансировку ротора, для которой требуется заводское оборудование.

Магнитный турбомолекулярный насос

Магнитный турбомолекулярный вакуумный насос вид сбоку

Рабочие колеса таких насосов вращаются на двух электромагнитных подшипниках. Плюс к этому, предусмотрены и механические аналоги, которые начинают работать только в нештатной ситуации. Это может быть отключение электроэнергии либо появление вибрации рабочего колеса.

Гибридный турбомолекулярный насос

Гибридный турбомолекулярный вакуумный насос вид сбоку

Вал ротора монтируется с помощью одного механического и одного магнитного подшипника. Первый устанавливается снизу, а второй — в верхней (атмосферной) части. Такая компоновка не только исключает механическую связь межу ротором и статором, но и позволяет при необходимости заменять магнитные подшипники без последующей балансировки в заводских условиях.

Виды насосов турбомолекулярного типа

Разновидность турбомолекулярного вакуумного насоса вид сбоку

С учетом конструкции турбомолекулярные насосы изготавливаются нескольких видов: однопоточные, двухпоточные, с выносным или интегрированным электродвигателем (контроллером).

Основные характеристики ТМН

Типичный турбомолекулярный вакуумный насос вид сбоку

Выбирая турбомолекулярный насос, обратите внимание на такие характеристики предлагаемых моделей ТМН:

  • Степень сжатия: до 10-10 мбар.
  • Мощность: до 5 тысяч л.с.
  • Производительность: до 100 м3/ч.
  • Скорость оборотов: 24–90 тысяч об/мин.
  • Откачиваемые среды: H2, He, N2 и др.

Преимущества и недостатки турбомолекулярных насосов

Стандартный турбомолекулярный вакуумный насос вид сбоку

Популярность турбомолекулярных насосов обусловлена следующими особенностями и достоинствами:

  • ТМН позволяют создавать высокий и сверхвысокий вакуум в широком диапазоне без утечки или загрязнения.
  • Возможность перекачки инертных, коррозионных и агрессивных газов большими объемами.
  • Длительный ресурс при минимуме обслуживания.
  • Легки запуск в работу, повышенная стойкость к резким колебаниям давления.
  • Низкий порог вибраций и шумов при небольших размерах и легком весе.

Недостатки: необходимость постоянного контроля над уровнем смазки подшипников, дисбалансом лопастей ротора и статора. Резкие перепады атмосферного давления способны повредить лопатки.

Сфера применения ТМН

Турбомолекулярный вакуумный насос в составе откачного поста

Мощные ТМН применяются в энергетике, фармацевтике, приборостроении, пищевой промышленности, медицине, других отраслях. Турбомолекулярные насосы востребованы для обеспечения разных технологических операций. Малогабаритные агрегаты заказывают для травления, распыления, ионной имплантации, литографии, ускорение частиц, решения других задач. Современное оборудование позволяет изготавливать полупроводники, проводить термоядерный синтез, выполнять другие операции. Компактные насосы встроены в конструкции МРТ, КТ, других диагностических аппаратов.

Популярные бренды турбомолекулярных насосов

Agilent

Турбомолекулярный вакуумный насос Agilent вид сбоку

Американская корпорация поставляет на мировой рынок ТМН оборудование, разработанное на основе новых технологий. Малогабаритные насосы из Калифорнии отличаются незаурядными характеристиками, простотой эксплуатации и долговечностью. Они рассчитаны на длительную работу в экстремальных условиях с максимальными нагрузками.

Busch

Турбомолекулярный вакуумный насос Busch вид сбоку

В линейке немецких турбомолекулярных насосов большой выбор компактных моделей безмасляного типа, предназначенных для обслуживания технологических процессов с особыми требованиями к высокому вакууму. Небольшие насосы отличаются длительным ресурсом, повышенной стойкостью к износу, перепадам температур, другим агрессивным воздействиям. В их конструкции применяются керамические подшипники, для которых не требуется смазка на протяжении всего срока эксплуатации.

EBARA

Турбомолекулярный вакуумный насос Ebara вид сбоку

Американо-японский концерн поставляет малогабаритные турбонасосные агрегаты, укомплектованные керамическими или магнитными подшипниками. Несмотря на размеры, небольшие насосы отличаются повышенной производительностью и способны длительное время работать без обслуживания в экстремальных условиях. При этом их цена ниже по сравнению с продукцией европейских брендов.

Edwards

Турбомолекулярный вакуумный насос Edwards вид сбоку

Турбомолекулярное оборудование из Великобритании можно заказать для решения наиболее сложных задач с гарантией ожидаемых результатов. Конструкция насосов выполнена по гибридной схеме подвесов. В верхней части вала ротора монтируются магнитные подвесы, а в нижней — подшипники, смазываемые масляной смазкой. Насосы комплектуются встроенными электродвигателями (контроллерам) мощностью 47–400 л.с.

KYKY

Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY вид сбоку

Продукция китайской компании составляет достойную конкуренцию мировым брендам, предлагая аналогичную производительность и мощность по более низкой цене. Турбонасосы поставляются с керамическими, магнитными либо механическими подшипниками. Балансировка роторов выполняется с применением новых технологий и современных стендов Dual-Plane, что сводит к минимуму вибрации и шумы.

Osaka Vacuum

Турбомолекулярный вакуумный насос Osaka Vacuum вид сбоку

Японская компания много лет лидирует на мировом рынке, предлагая долговечные насосы повышенной производительности. Благодаря длинному списку типоразмеров и вариантов исполнения, можно заказать модель для решения любых задач.

Ремонт турбомолекулярных насосов

Турбомолекулярный вакуумный насос перед техническим обслуживанием вид сбоку

Один из недостатков использования турбомолекулярных насосов заключается в том, что, обслуживание и ремонт должны выполнять специально подготовленные мастера или завода-производителя. Вмешательство в конструкцию даже для устранения незначительных неисправностей чревато усугублением проблемы с последующим увеличением цены ремонта. В то же время турбомолекулярные насосы считаются оборудованием повышенной надежности и способны длительное время работать без обслуживания. В 95% поломок неисправности устраняются без существенных расходов.

Распространенной поломкой ТМН является износ подшипников или уплотнителей. В большинстве случаев расходные детали быстро заменяются новыми аналогами в сроки, указанные в регламенте. Чтобы исключить сложности с ремонтом, целесообразно при выборе турбомолекулярных насосов обращать внимание на легкость доступа к расходным элементам.

Наиболее сложной поломкой считается выход из строя ротора. Неполадки с рабочими колесами обычно происходят при резкой разгерметизации корпуса. В таких случаях ротор разбивает оболочку без возможности восстановления мотора. Поэтому необходимо соблюдать указания по безопасности и рабочие параметры, предусмотренные руководством по эксплуатации конкретной модели насоса.

Вернуться
Поделиться
e-mail@vacuequipment.ru
Москва, Большая Почтовая ул., 26В, стр. 2

Vacuumequipment © 2023
Компания
Информация
Помощь
  • О компании
  • Наши услуги
  • Контакты
  • Условия оплаты
  • Условия доставки
  • Гарантия
  • Блог
  • Производители
+​7 (499) 685-39-35 (с 9:00 до 18:00) Заказать звонок